實(shí)現(xiàn)超精密加工的基本條件

完成超精密加工基本上標(biāo)準(zhǔn)：

為了更好地能完成超精密加工并得到預(yù)估的加工實(shí)際效果，務(wù)必具有以下基本上標(biāo)準(zhǔn)：

被加工產(chǎn)品工件的材料要密實(shí)度；各向的同一性好些（最好是為單晶體）；表面強(qiáng)度和彈性模具要?jiǎng)蛩龠\(yùn)動(dòng)一致；可加工性好些；原材料的有機(jī)化學(xué)有效成分與機(jī)械設(shè)備機(jī)械性能對(duì)指標(biāo)值的誤差不宜超出0.1%。

采用的超精密加工加工工藝方式要與被加工原材料相符合。例如，稀有金屬原材料（如銅、鋁合金）宜用點(diǎn)射金剛石刀片開(kāi)展銑削或切削加工；玄色金屬材質(zhì)（如鋼等）則宜選切削與研、拋等加工工藝，不然無(wú)法得到預(yù)估的加工實(shí)際效果等。

加工自然環(huán)境要嚴(yán)苛控溫、減振和凈化處理。恒溫室（第一隔開(kāi)區(qū)）中的溫度起伏不可超過(guò)±0.1°C；加工區(qū)（第二隔開(kāi)區(qū)）中則不可超出±0.01°C；自然環(huán)境的空氣濕度要維持在40%±10%之內(nèi)；大氣壓強(qiáng)（如用激光器測(cè)量?jī)x時(shí)）應(yīng)維持1MPa±0.1%；數(shù)控車床路基的減振系統(tǒng)軟件共振頻率<2Hz；加工區(qū)的凈化處理度應(yīng)是每立方英寸中超過(guò)0.1μm的顆粒成分應(yīng)公以于10顆。

具備能完成納米（1nm ~10nm）增加量走刀的數(shù)控車床和分辨率好于0.1nm的測(cè)量機(jī)器設(shè)備，如干涉儀，掃描儀隧道施工光學(xué)顯微鏡和透射電鏡等。

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